团组其他

成员姓名、

学院或

部门、

职称、职务

郭太良 科技处 研究员 处长

林志贤  物理与信息工程学院  教  授  平板工程实验室副主任

叶  芸  物理与信息工程学院  研究员 光电系主任

周雄图  物理与信息工程学院  副教授

唐 谦   物理与信息工程学院  聘用研究员

出访国家

或地区

日本

出访任务

（会议中、

英文名称）

OLED显示交流与合作，全自动蒸镀系统测试验收

具体

日程

安排

2018年3月11日    前往日本山口县（Yamaguchi），（MU587 福州7:55-浦东9:20；MU5087 浦东 14:30-福冈17:15），入住宾馆

3月12日上午  访问日本长州产业（Choshu Industry Co., Ltd., CIC）公司，中日新型显示技术和产业交流，郭太良教授向CIC介绍中国新型显示产业现状及福州大学平板显示技术研究概况，CIC相关人员介绍其公司概况。

3月12日下午  进行全自动蒸镀系统（ev-200）真空和自动机械手的测试和操作培训

        3月13日上午  进行ev-200系统等离子体处理、有机材料和金属材料蒸镀工艺的操作培训

3月13日下午  进行ev-200系统膜厚均匀性（片内均匀性和片与片之间的重复性）的测试

3月14日上午  进行ev-200系统两种或多种材料共蒸镀时的膜厚均匀性和配比的测试

3月14日下午  进行ev-200系统掩膜版对位操作培训和对位精度的测试

3月15日上午  进行ev-200系统recipe的设计和蒸镀工艺优化培训

3月15日下午  进行OLED器件的制备和参数测试（包括亮度、I-V特性等）

3月16日上午 张永爱研究员和周雄图副教授与CIC人员一起进行实验数据的整理与汇总，形成测试报告；其他人员与CIC公司的Kiyonobu Hayata经理等进行OLED材料、蒸镀工艺和高精细掩膜版等方面的合作洽谈，与CIC就新型显示技术建立深度的合作意向。

3月16日下午  对ev-200系统的测试报告进行审视和讨论，提出需要修改和改进的事项，并确定设备发货的事项。

3月17日福冈机场出发返回中国（MU532 福冈9:50-浦东10:45；MU5631 浦东16:15-福州18:15）。

往返航线

福州—上海—福冈市—上海—福州

本次出访

经费来源

（须写明该经费的项目名称和经费卡号，卡号含部门编号和项目编号，编号之间用“—”隔开）

1、 新型平栅极表面传导场致发射电子源的制备及发射特性研究0110-814758

2、 高性能蓝光量子点光致发光材料与器件的技术研究  0110-82316046

3、 印刷OLED墨水体系开发及薄膜印刷技术研究  0110-83916001

4、 有源彩色电子纸质显示模组集成与驱动0110-83916003

5、 印刷TFT的结构设计与界面工程方法0110-83916001

6、 海西新型显示器件与系统集成协同创新0110-50006102

本次出访

费用估值

（元人民币/团组，

申请人估算）

120,000

邀请

单位

简介

日本长州产业（Choshu Industry Co., Ltd., CIC）公司是世界知名真空设备制造公司，专门提供真空薄膜系统的创新系统和工艺。公司重点关注OLED和太阳能光伏产业的真空镀膜设备，在国际上具有广泛的市场。同时，其专业技术还被广泛应用于半导体和光电行业的重要领域以及其它半导体材料的高端市场。公司致力于为客户提供集成系统和专门开发的解决方案，并针对不同的生产流程为客户定制专用的流程控制系统。

出访人员名单（含领队）

张永爱，郭太良，林志贤，叶芸，周雄图，唐谦

出访国家（地区）

日本山口县

实际

出访时间

2018 年 3   月 11 日

至  2018 年   3 月 17 日

实际出访路线

福州 至 上海 至 福冈；福冈 至 上海 至 福州

出访任务

全自动蒸镀系统的测试验收，OLED显示交流与合作

出

访

成

果

报

告

本次出访日本长州产业（Choshu Industry Co., Ltd., CIC）公司，主要任务是进行福州大学所采购的全自动蒸镀系统的测试验收，并进行OLED 显示的交流与合作，获得以下成果：

1、对全自动蒸镀系统进行全面细致地内部验收（IAT），验收结论为通过。

对全自动蒸镀系统的升压特性、极限真空、漏气率、基板内膜厚均匀性，基板温度上升特性、自动搬运特性、对位精度等设备重要特性逐项进行测试，性能指标均能达到合同要求。同时，利用该系统制作了两个OLED器件，均能成功点亮，发光均匀性和稳定性较好。

同时，出访成员对CIC厂商提出了几点改进要求，包括：（1）对基板和掩膜版的对位稳定性，以及基片传输的稳定性做更多的测试；（2）对蒸镀腔的保护罩进行改进；（3）提供基板传输和对位系统的原理、装置和流程的详细介绍（PPT格式）。

2、通过讨论和谈判，CIC厂商同意增加若干重要功能。

针对近一年来OLED的发展，出访成员提出新增几项设备功能：（1）对软件进行改进，增加掩膜版的平移功能，使得利用一个掩膜版即可实现多色或彩色OLED 器件的制备；（2）对软件进行改进，是的该蒸镀系统更好地与喷墨打印系统进行集成；（3）改进对位软件功能，当基板和掩膜版贴合后，重新对对位精度进行测试，如错位较大，重新进行对位。

3、确定全自动蒸镀系统在福州大学安装日程和要求

确定2018年4月底在福州大学进行安装，安装调试后对预验收时测试的性能指标均需重新测试。并且，由福州大学提供基板和材料，制备出200*200基板的OLED点亮器件。

4、初步达成OLED 显示合作意向

CIC将为福州大学在柔性OLED显示、蒸镀和印刷混合型OLED、Micro-OLED显示等方面提供工艺上的帮助，福州大学将为CIC提供设备、样品的展示，并为CIC提供一定的工程师培训等。

实际日程安排如下：

（1）3月12日：上午参观日本长州产业（Choshu Industry Co.,   Ltd., CIC）公司设备部门，召开见面会及新型显示技术和产业交流会，会上郭太良教授向CIC介绍中国新型显示产业现状及福州大学平板显示技术研究概况，CIC相关人员介绍其公司概况，会议同时调整和确定本次访问的日程安排。下午进行设备外观、真空上升特性、漏气情况的测试和检查。

（2）3月13日：进行全自动蒸镀系统（ev-200）软件界面的操作说明，重点对自动机械手进行测试和操作培训，所测试的搬送内容为：LL->PL->OEV->MEV->ULL   (4 pcsx1 cycles, step 7~10)，ULL-> MEV->ULL (4 pcsx1 cycles, step 1-4)。进行对位的软件界面操作说明和测试，测试结果为，当采用CIC的基板时，对位精度高且稳定，采用福州大学制备的基板时，对位相对不稳定。

（3）3月14日：对福州大学玻璃基金进行数据校正后，重新进行对位测试，对位精度大大提高。同时进行ev-200系统等离子体处理、有机材料和金属材料蒸镀工艺的测试和操作培训。下午对ev-200系统膜厚均匀性（片内均匀性和片与片之间的重复性）进行测试。

（4）3月15日：进行ev-200系统recipe的设置培训，制作OLED器件，并成功点亮。参观CIC光伏部门工厂。

（5）3月16日：进行蒸镀腔保护板的拆装、晶振更换和数据设置培训。召开讨论会，对IAT测试结果进行总结，确定设备发货和安装日程安排。同时与CIC公司的高层管理人员Kiyonobu Hayata经理和工程师等进行OLED材料、蒸镀工艺和高精细掩膜版等方面的合作洽谈，初步达成OLED 显示合作意向。

该团组已进行事后公示。（对外处公章）　　　　　　　　　　　　　（领队签字）张永爱

年    月    日

遵守外事纪律情况（含意见和建议等）：

    本次出访成员严格遵守外事纪律。